ホウ素拡散用塗布液

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350728
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181009
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】ホウ素の拡散が高濃度で、ストリエーションがなく均一にしかも再現性よくでき、その上ホウ酸析出による表面荒れのないホウ素拡散用塗布液を提供することを目的とする。【構成】(a)ホウ素化合物、(b)アルコール性水酸基含有高分子化合物、(c)多価アルコール、及び(d)フッ素系界面活性剤を含有することを特徴とするホウ素拡散用塗布液。

請求項（抜粋）：