特許

J-GLOBAL ID：200903009704670632

測定装置

発明者： 石塚 公 ,  門島 孝幸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157316
公開番号（公開出願番号）：特開2001-336952
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 光学系が小型でかつ小型の分割受光素子が使用できる光波干渉式測定装置を得る。【解決手段】 半導体レーザー光源21からの光束は格子スケール26を略垂直に照明し、格子スケール26によりそれぞれ+1次回折、-1次回折させられて、非偏光ビームスプリッタ23まで戻される。非偏光ビームスプリッタで反射された両光束は1/4波長板27を透過し、1つの直線偏光光束に変換されて分離される。2光束が平行に入射される偏光分離光学ユニット31は平行ガラス板31aの片面に偏光膜を蒸着し、平行ガラス板の反対面に反射面として蒸着したものを、直角プリズム31bの斜面と接合している。光学ユニット31の偏光膜によりP偏光波とS偏光波に分離され、S偏光光は偏光膜で反射され、P偏光成分は平行ガラス板の反射面で反射され、再度偏光膜を透過して互いに明暗の位相が反転した干渉信号光となり同一方向に射出する。

請求項（抜粋）：

可干渉光束を相対移動する回折格子スケールを照明し、2つの異なる次数の回折光を発生させ、これら2つの回折光同士の波面を重ね合わせて干渉させ、相対移動する前記格子スケールの移動に伴う周期信号光を発生させ、そのまま信号光として又は受光素子により光電変換した後に電気信号として出力する測定装置において、干渉させるべき前記2つの光束同士の合成において、偏光状態を前記2光束問の位相差により偏波方位が決まる1つの直線偏光光束に変換すると共に、少なくとも1つの偏光ビームスプリッタ膜とそれに平行な1つの反射面を有する偏光分離光学素子を用いて位相差信号を発生させることを特徴とする測定装置。

IPC (2件)：

G01D 5/38 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01D 5/38 A ,  G01B 11/00 G

Fターム (35件)：

2F065AA02 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065FF07 ,  2F065FF18 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ24 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ29 ,  2F103BA42 ,  2F103CA03 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103EA03 ,  2F103EA12 ,  2F103EA15 ,  2F103EB02 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EC00 ,  2F103EC03 ,  2F103EC13 ,  2F103EC14 ,  2F103EC15