特許

J-GLOBAL ID：200903009705269982

合成石英ガラスの製造方法

発明者： 石川 真二 ,  大賀 裕一 ,  内山 幸一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213901
公開番号（公開出願番号）：特開平10-059730
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】耐放射線特性、長期信頼性に優れ紫外線照射による劣化量の少ない合成石英ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】ガラス原料を火炎中で酸化又は加水分解反応させることにより生成するガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス体を加熱処理して透明ガラス化する合成石英ガラスの製造方法において、上記加熱処理のガス雰囲気を不活性ガスとH2 Oを含む混合ガスとすることを特徴とする上記製造方法。また、多孔質ガラス体を予めCl2 又はCl化合物ガスと不活性ガスを含む混合ガス中で加熱処理した後に上記H2 Oと不活性ガスを含む混合ガス雰囲気処理してもよい。

請求項（抜粋）：

ガラス原料を火炎中で酸化又は加水分解反応させることにより生成するガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス体を加熱処理して透明ガラス化する合成石英ガラスの製造方法において、上記加熱処理のガス雰囲気を不活性ガスとH2 Oを含む混合ガスとすることを特徴とする上記製造方法。

IPC (4件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03B 37/014 ,  G02B 6/00 356

FI (4件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03B 37/014 Z ,  G02B 6/00 356 A