特許
J-GLOBAL ID：200903009716685341
ウェハ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204921
公開番号（公開出願番号）：特開平7-058188
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】高温で処理したウェハの搬送を確実に保持する。【構成】ウェハ搬送機5のウェハ保持体7とウェハ2の裏面の間に、保持に必要な最小限の接触面を除いて0.3mm 以上の隙間を設ける。【効果】高温のウェハを確実に搬送できる。
請求項（抜粋）：
ウェハを加熱あるいは冷却して処理する装置において、ウェハ搬送手段のウェハ保持部とウェハ裏面の接触面積を最小とし、かつ非接触面の全体もしくは大部分の表面とウェハの隙間寸法を0.3mm以上としたことを特徴とするウェハ処理装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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