特許
J-GLOBAL ID：200903009731387250
複合顕微鏡の導電性カンチレバ-構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-209266
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054403
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡と静電容量顕微鏡を合体した顕微鏡を作ろうとすると、センサ部分に導電性のカンチレバ-を必要とする。カンチレバ-の先端下部に探針を設け、探針と試料との間の静電容量を検出する。しかしカンチレバ-の全体、ホルダ-の全体を金属にすると、これらと試料の間の静電容量が大きくなり、探針と試料の間の容量変化を検出することができない。探針・試料間の容量変化を正確に測定できるようにすることが目的である。【構成】 探針を除き導電性カンチレバ-の下面、下面と側面或いは全面を絶縁膜で覆い、さらに金属製のシ-スで絶縁膜を覆う。シ-スは接地する。カンチレバ-とシ-スの間に大きい容量が発生する。しかしこれは一定値を取り、カンチレバ-の撓みなどによらない。カンチレバ-と試料間の容量が減少するので、撓みなどのカンチレバ-の状態変化による全容量の変動が少なくなる。探針・試料間の容量変動のみを抽出することができる。静電容量顕微鏡としての機能を強化することができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも走査型静電容量顕微鏡と原子間力顕微鏡の機能を合体した複合顕微鏡のカンチレバ-構造であって、試料に対向するように設けられ先の尖った探針と、探針を先端に取り付けてあり探針と試料原子との間に働く原子間力によって撓む導電性のカンチレバ-と、探針を除くカンチレバ-の下面または全面に形成された絶縁膜と、絶縁膜の上に形成され接地される金属製のシ-スとよりなることを特徴とする複合顕微鏡の導電性カンチレバ-構造。
IPC (2件)：
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