特許

J-GLOBAL ID：200903009731970770

露光装置

発明者： 北村 芳隆
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312036
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152192
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】SOR光のスペクトル成分を適正化することにより、オージェ電子を抑制して露光精度を向上することにある。【構成】シンクロトロン放射光を利用して試料を露光する露光装置において、前記試料を構成する物質に固有の吸収端の波長を境界に、前記シンクロトロン放射光スペクトルの波長成分を前記吸収端よりも短波長側の短波長成分と長波長側の長波長成分とに分離するとともに、該スペクトル中に占める短波長成分の割合を長波長成分よりも少なくすることを特徴とする露光装置。

請求項（抜粋）：

シンクロトロン放射光を利用して試料を露光する露光装置において、前記試料を構成する物質に固有の吸収端の波長を境界に、前記シンクロトロン放射光スペクトルの波長成分を前記吸収端よりも短波長側の短波長成分と長波長側の長波長成分とに分離するとともに、該スペクトル中に占める短波長成分の割合を長波長成分よりも少なくすることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G21K 1/06 ,  G21K 3/00 ,  H05H 13/04

FI (2件)：

H01L 21/30 331 A ,  H01L 21/30 331 S