基板歪み計測方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-003579
公開番号（公開出願番号）：特開2001-196721
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】インサーキットテスタによる電子回路基板上の素子の電気的特性の計測時に、基板上のチップ部品に生ずる歪みを容易にかつ正確に検出し、かかる基板の検査工程でチップ部品に割れが発生することを防止する。【解決手段】基板1上のチップ部品3を実装する位置に、チップ部品3の代わりに、チップ部品3と同一形状の歪みゲージを実装する。インサーキットテスタの計測ピン4を、該ひずみゲージの両端の電極に合わせて当接させることで、インサーキットテスタを基板1の歪み量を計測するために流用することが可能となる。したがって、従来のシート状の歪みゲージのごとく、各歪みゲージ毎に、その電気端子を計測装置に接続する作業が不要となり、各歪みゲージとインサーキットテスタの計測ピン4との電気的接続状態が高精度に安定する。

請求項（抜粋）：

基板上のチップ部品を実装する位置に、該チップ部品と同一形状の歪みゲージを実装し、該歪みゲージの検出信号を、前記基板用のインサーキットテスタの計測ピンで検出することを特徴とする基板歪み計測方法。

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