特許

J-GLOBAL ID：200903009744319270

金属中炭素分析試料用予備処理装置

発明者： 鈴木 茂 ,  鈴木 節雄
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015176
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211043
出願日： 1995年02月01日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 金属中炭素の分析において分析試料の表面を清浄にする前処理を行うことによって、極微量の炭素の分析を可能にする金属中炭素分析試料用予備処理装置を提供する。【構成】 金属中の炭素分析用試料を試料台に載せ、処理容器中で低圧力の清浄なガスのもとで放電によりスパッターで試料表面の汚染を取除く。その後、試料を載せた試料台を分析装置に移動させ、試料の中の炭素分析を行う。【効果】 従来の分析で困難であった3ppm 以下の極微量の炭素の分析を精度よく分析することが可能になる。

請求項（抜粋）：

金属中の炭素分析用試料(1)を載せる試料台(2)、試料台(2)を移動させる搬送棒(3)、搬送棒(3)を支える容器蓋(4)、電圧を供給する端子(5)、端子(5)と接続した電極板(6)、ガスを導入するガス導入口(7)、ガスを排気する排気口(8)、試料(1)と試料台(2)と搬送棒(3)と電極板(6)を格納する処理容器(9)、処理装置(9)と分析装置口(11)とを遮断するゲートバルブ(10)を有することを特徴とする金属中炭素分析試料用予備処理装置。

IPC (2件)：

G01N 33/20 ,  G01N 1/36