特許
J-GLOBAL ID：200903009747026532
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-036528
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006850
出願日： 1991年02月07日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 露光装置においてステージの温度上昇に伴う位置計測誤差、並びにステージの移動に伴う空気のゆらぎに起因する位置計測誤差を低減する。【構成】 ステージ上に載置された被露光体をレーザ干渉計による位置計測に基いて相対移動させながら露光する露光装置であって、レーザ干渉計の反射鏡その他に通気孔が設けられているもの。前記通気孔から空気を吸引または送風する通気手段を備え、さらに、吸引量等もしくは送風する空気の温度等に対する制御手段を備えているもの。
請求項（抜粋）：
投影光学系を介した被投影対象物の像をステージ上に載置された被露光体に投影すると共に、レーザ干渉計による位置計測に基いて前記被露光体を光軸と垂直な方向に相対移動させて露光する露光装置であって、前記ステージが、前記被露光体の相対位置を計測するためのレーザ干渉計の反射鏡を有し、この反射鏡もしくはその支持部に通気孔が設けられていることを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
