特許
J-GLOBAL ID：200903009753765819
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203300
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053176
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 従来の技術と同等なエッチング反応をウエハ上で実現するとともに、ドライクリーニング時に必要なプラズマ放電空間の広がりにより有効的なドライクリーニング効果を実現する。【構成】 各々電気的に絶縁されて反応室内壁11に密着された内壁電極15、ウエハ保持電極13、対向電極14の三つの電極を持ち、接続スイッチ17により各々が独立に陰極、陽極いずれか任意に設定できるようにする。ドライクリーニング時には、選択スイッチ17で、ウエハ保持電極13、対向電極14を接地回路に、内壁電極15を高周波整合器18を介して高周波電源19に接続する。この状態では、プラズマ放電空間20は反応室空間12の隅の部分まで達し、またウエハ保持電極13、対向電極14の外縁部で強い放電が得られるため、付着した重合膜を完全に除去することができる。
請求項（抜粋）：
各々電気的に絶縁されて反応室内壁に密着された内壁電極、ウエハ保持電極、対向電極の三つの電極を持ち、各々が独立に高周波整合器を介した高周波電源または接地回路に選択的に接続可能なスイッチを備え、三つの電極を陰極、陽極いずれか任意に設定することを可能にしたドライエッチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/302
, H01L 21/304 341
