特許
J-GLOBAL ID：200903009762007749
吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303843
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151562
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】本発明は被吸着物にダメ-ジを与えず、クリ-ン度を保って吸着できるようにした吸着装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は吸着面12の溝13からエア-を吸引することにより前記吸着面12に半導体ウエハを吸着させる吸着手段20と、この吸着手段20に着脱自在に取り付けられ前記吸着面12を被覆する多孔質状の樹脂製のシ-ト材35とを具備してなる。
請求項（抜粋）：
吸着面の吸引部からエア-を吸引することにより前記吸着面に被吸着物を吸着させる吸着手段と、この吸着手段に着脱自在に取り付けられ前記吸着面を被覆する多孔質状の樹脂製の被覆部材と、を具備してなることを特徴とする吸着装置。
IPC (2件)：
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