特許
J-GLOBAL ID:200903009762143340
高熱膨張Al2O3-SiO2系焼結体およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-076218
公開番号(公開出願番号):特開平8-231267
出願日: 1995年03月31日
公開日(公表日): 1996年09月10日
要約:
【要約】【構成】Al2 O3 粉末と、SiO2 粉末と、周期律表第2a族元素化合物や周期律表第3a族元素化合物の粉末と、ムライト粉末との混合粉末であって、周期律表第2a、3a族元素化合物のうち少なくとも一種の粉末を酸化物換算で0.5重量%以上、ムライト粉末を0.5重量%以上の割合でそれぞれ含有するとともに、全組成中におけるAlのAl2 O3 換算量/SiのSiO2 換算量の重量比率が0.6以上1未満の範囲となるように調合した混合粉末を所定形状に成形した後、1700°C以下で焼成して、ムライトを主結晶相とし、さらに30重量%以上のクリストバライトおよび/またはSiO2 を主成分とするガラスを含み、常温から200°Cの熱膨張係数が12ppm/°C以上の焼結体を得る。【効果】焼結性を高め、所望の高熱膨張率を有し、かつ低誘電率のAl2 O3 -SiO2 系焼結体を安価にかつ容易に得ることができる。
請求項(抜粋):
少なくともAlと、Siとを酸化物換算量で合計92〜99.5重量%、周期律表第2a,3a族元素のうち少なくとも1種を酸化物換算で0.5〜8重量%の割合で含有し,且つ前記AlのAl2 O3 換算量の前記SiのSiO2 換算量に対する重量比率が0.6以上,1未満のAl2 O3 -SiO2 系焼結体であって、該焼結体は、ムライトを主結晶相とし、さらに30重量%以上のクリストバライトおよび/またはSiO2 を主成分とするガラスを含み、常温から200°Cの熱膨張係数が12ppm/°C以上であることを特徴とする高熱膨張Al2 O3 -SiO2 系焼結体。
IPC (2件):
FI (2件):
C04B 35/18 Z
, H05K 3/46 T
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