磁気記録媒体の製造方法、該方法により製造された磁気記録媒体、および該磁気記録媒体を搭載した磁気記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-332718
公開番号（公開出願番号）：特開2002-133654
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】バイアススパッタ法により絶縁基板上に各種の層を積層して、アルミ基板を用いた磁気記録媒体同等の磁気および電磁変換特性を達成することができる磁気記録媒体の製造方法の提供。【解決手段】非磁性基体上に、少なくとも非磁性下地層、中間層、磁性層、保護膜および液体潤滑剤層を順次積層する磁気記録媒体の製造方法において、それら非磁性下地層、中間層、磁性層および保護膜からなる群から選択される少なくとも1つの層を、グリッド材を用いてバイアス印加を行い、該非磁性基板に電圧を直接印加しないマグネトロンスパッタリング方式を用いて積層することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

請求項（抜粋）：

非磁性基体上に、少なくとも非磁性下地層、中間層、磁性層、保護膜および液体潤滑剤層を順次積層する磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性下地層、中間層、磁性層および保護膜からなる群から選択される少なくとも1つの層を、グリッド材を用いてバイアス印加を行い、前記非磁性基板に電圧を直接印加しないマグネトロンスパッタリング方式を用いて積層することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5件)：

G11B 5/851 , C23C 14/35 , C23C 14/54 , G11B 5/64 , G11B 5/84

FI (5件)：

G11B 5/851 , C23C 14/35 C , C23C 14/54 D , G11B 5/64 , G11B 5/84 Z

Fターム (24件)：

4K029AA02 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA21 , 4K029BD11 , 4K029DC29 , 4K029DC39 , 4K029EA08 , 5D006BB08 , 5D006CA05 , 5D006CB01 , 5D006CB04 , 5D006DA03 , 5D006EA03 , 5D006FA09 , 5D112AA03 , 5D112AA04 , 5D112AA05 , 5D112AA07 , 5D112AA24 , 5D112FA04 , 5D112FB26 , 5D112FB30

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