光変調素子及びその駆動方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266997
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118358
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】変調効率を大幅に改善することのできる光変調素子及びその駆動方法を提供する。【構成】ニオブ酸リチウムなどの電気光学効果を有する基板11の表面に、金属拡散法などによって光導波路12を形成する。また、基板11の表面に、スパッタリング法、フォトリソグラフィー及び反応性イオンエッチングなどの薄膜製造手段によって、アルミニウムや金などの金属薄膜からなるマイクロストリップ線路スプリットリング型共振器13を形成する。共振器13の開放端は、光導波路12の左右両側で互いに向かい合った状態にする。さらに、前記基板11の裏面に、金属膜の蒸着法などによってグランドプレーン14を形成する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたマイクロストリップ線路スプリットリング型共振器と、該マイクロストリップ線路スプリットリング型共振器のスリット部付近の前記基板上に形成され、電気光学効果を有する光導波路とからなる光変調素子。

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