特許
J-GLOBAL ID：200903009772713480
電子部品用リッドおよび電子部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村上 友一
, 大久保 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-108590
公開番号（公開出願番号）：特開2007-281341
出願日： 2006年04月11日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】レーザ光が電子部品本外の被加工部以外に当たらないようにする。【解決手段】振動ジャイロセンサ30は、パッケージ32内にジャイロセンサ素子10が収納してある。パッケージ32は、パッケージ本体34の上端部にリッド36が気密に接合してあり、内部が真空に封止されている。ジャイロセンサ素子10は、駆動アーム16に金薄膜からなるバランス調整部を有する。リッド36は、透明なガラスから形成してあり、バランス調整部28の直上に位置する凸レンズ部68を有する。凸レンズ部68は、入射したレーザビーム70をさらに集光してバランス調整部28に照射する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透光性部材からなるリッド本体の所定位置に凸レンズ部を設けたことを特徴とする電子部品用リッド。
IPC (3件)：
H01L 23/02
, H03H 9/02
, G01C 19/56
H01L23/02 J
, H03H9/02 A
, H03H9/02 M
, G01C19/56
2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD13
, 5J108AA02
, 5J108AA09
, 5J108CC07
, 5J108EE03
, 5J108EE06
, 5J108GG03
, 5J108GG16
, 5J108GG17
, 5J108HH04
, 5J108HH06
, 5J108JJ02
, 5J108JJ03
, 5J108JJ04
, 5J108KK04
, 5J108KK06
