特許
J-GLOBAL ID：200903009775032661
切断機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180940
公開番号（公開出願番号）：特開2001-358093
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：
【要約】【課題】 ダイサーの如き切断機において、機械の各域の配置に改良を加えて機械全体を小型化せしめる。【解決手段】 切断機は、被加工物(22)を収容したカセット(24)を支持するための、カセット載置域(A)に配設されたカセット支持手段(10)と、チャッキング域(B)と切断域(D)との間を移動自在に配設されたチャックテーブル(52)と、洗浄域(C)に配設された洗浄手段(76)と、被加工物を切断するための切断手段(94a、94b)と、被加工物搬送手段(132、134、136)とを具備する。カセット載置域とチャッキング域と洗浄域とは所定方向に延びる第一の直線上にこの順序で配置されており、チャッキング域と切断域は第一の直線に対して実質上垂直に延びる第二の直線上に配置されている。チャッキング域には仮支持手段(48)が配設されている。
請求項（抜粋）：
複数個の被加工物を収容したカセットを支持するための、カセット載置域に配設されたカセット支持手段と、チャッキング域と切断域との間を実質上水平方向に移動自在に配設されたチャックテーブルと、洗浄域に配設された洗浄手段と、該切断域に位置する該チャックテーブル上にチャックされている被加工物を切断するための切断手段と、被加工物搬送手段とを具備する切断機において、該カセット載置域と該チャッキング域と該洗浄域とは、平面図において、所定方向に延びる第一の直線上にこの順序で配置されており、該チャッキング域と該切断域とは、平面図において、該第一の直線に対して実質上垂直に延びる第二の直線上に配置されており、該チャッキング域には被加工物を仮支持するための仮支持手段が配設されており、該カセットに収容されている被加工物が、該被加工物搬送手段によって該カセットから該仮支持手段上に載置され、次いで該仮支持手段上から該チャックテーブル上に搬送されて該チャックテーブル上にチャックされ、該チャックテーブルと共に該切断域に移送され、該切断域において該切断手段によって切断され、次いで該チャックテーブルと共に該チャッキング域に戻され、該被加工物搬送手段によって該チャックテーブル上から該洗浄手段に搬送され、該洗浄手段によって洗浄され、しかる後に該被加工物搬送手段によって該洗浄手段から該仮支持手段上に発送され、そして該被加工物搬送手段によって該カセットに搬入される、ことを特徴とする切断機。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B65G 49/07
, H01L 21/68
B65G 49/07 G
, H01L 21/68 A
, H01L 21/78 F
, H01L 21/78 N
5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA24
, 5F031GA49
, 5F031MA23
, 5F031MA34
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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