特許

J-GLOBAL ID：200903009782885157

光学装置及び露光装置

発明者： 西川 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412676
公開番号（公開出願番号）：特開2005-175177
出願日： 2003年12月11日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】鏡筒内で保持されるミラーの位置を高精度かつ安定性良く計測する。【解決手段】部分鏡筒152c内で保持されるミラーM1の位置計測に用いられるレーザ干渉計において、参照ビームの光路のうち測長ビームとは独立した光路の光路長を決定するビームスプリッタ72と参照鏡74を少なくとも含む干渉計ブロック64x1を部分鏡筒に固設する。すなわち、部分鏡筒そのものの剛性を高くすることにより、ビームスプリッタから参照鏡までの距離を一定に維持することができるので、計測対象であるミラーの位置を、参照鏡に照射される参照ビームの光路長と測長ビームの光路長との差に基づいて精度良くかつ安定性良く、非接触にて計測することが可能となる。また、干渉計ブロックを保持する保持部材として大型かつ大重量な保持部材を用いる必要がないため、装置の大型化を招くこともない。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

鏡筒と; 該鏡筒内で保持される1又は2以上の光学素子と; 前記光学素子のうちの少なくとも1つの位置計測に用いられるレーザ干渉計の一部を構成し、前記鏡筒に固設される干渉計構成部品と;を備え、 前記干渉計構成部品は、光源から射出されるレーザビームを、測長ビームと参照ビームとに分離する分離光学素子と、前記参照ビームを反射する参照鏡とを少なくとも含むことを特徴とする光学装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02

FI (6件)：

H01L21/30 531A ,  G01B11/00 G ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 P ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X

Fターム (28件)：

2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065AA39 ,  2F065CC00 ,  2F065CC20 ,  2F065CC21 ,  2F065FF10 ,  2F065FF51 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP23 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GD10