特許

J-GLOBAL ID：200903009783148571

亜酸化ホウ素を含む組成物を用いて研磨する方法

発明者： クリスチャン エリソン-ハヤシ ,  ジョージ ティー.エモンド ,  シー リー クオ
出願人/特許権者： ノートン カンパニー
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082156
公開番号（公開出願番号）：特開平7-034063
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：

【要約】【目的】 ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素と同等な研磨性を有してコストの安い研磨材を提供する。【構成】 亜酸化ホウ素組成物(BxO)を含む砥粒を用いて表面を研磨する過程を含む、表面から物質を除去する方法であって、研磨過程の間に亜酸化ホウ素の劣化を抑制して研磨する。好ましくは、亜酸化ホウ素組成物が3800kg/mm2 より大きいKHN100 を有し、該組成物は約0.005ミクロン〜約500ミクロンの平均粒子径を有し、個々の粒子は約150ミクロン以下の列理からなり、該組成物は少なくとも約70重量%の亜酸化ホウ素を含む。亜酸化ホウ素組成物は、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、イットリウム、及びこれらの混合物から選択された物質を、元素又は該元素の化合物の形態で該亜酸化ホウ素の中に約30重量%までの量で含んでよい。

請求項（抜粋）：

亜酸化ホウ素組成物(BxO)を含む砥粒を用いて表面を研磨する過程を含む、表面から物質を除去する方法であって、研磨過程の間に亜酸化ホウ素の劣化を抑制する方法。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  C01B 35/10