加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201378
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043435
出願日： 1994年08月03日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【目的】優れた耐環境性を確保しつつ、加速度センサの小型化を図る。【構成】加速度センサ1は、絶縁基板2と、絶縁基板2の上面2A上に設けられ、外部から作用する加速度を検知して加速度検知信号を出力する検知素子7と、絶縁基板2の下面2Cに設けられ、加速度検知信号に基づく加速度測定処理を行うための印刷抵抗18およびコンデンサを備えた多層基板15と、多層基板15と絶縁基板2との間に画成された密閉室21と、密閉室21内に設けられ、加速度検知信号に基づく加速度測定処理を行う回路部22と、検知素子7を内部に収容するように絶縁基板2の上面2A側に設けられたカバー30とから構成されている。このような構成により、加速度センサ1の小型化を実現できる。また、密閉室によって回路部22を、カバー30によって検知素子7をそれぞれ密閉封止することができ、優れた耐環境性を確保することができる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板と、該絶縁基板の一側に設けられ、外部から作用する加速度を検知して加速度検知信号を出力する検知素子と、前記絶縁基板の他側に設けられ、前記加速度検知信号に基づく加速度測定処理を行うための電気部品を備えた多層基板と、該多層基板と前記絶縁基板との間に画成された密閉室と、該密閉室内に設けられ前記加速度検知信号に基づく加速度測定処理を行う回路部と、前記検知素子を内部に収容するように前記絶縁基板の一側に設けられたカバーとからなる加速度センサ。

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