静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-019344
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223742
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】プラズマを発生させた状態においても均一な吸着力が得られるようにする。【解決手段】対になった帯状電極を備える双極型の静電チャックにおいて、上記帯状電極の線幅及び帯状電極間の幅をそれぞれ0.3〜3mmとする。

請求項（抜粋）：

被固定物に対する保持面を有する基体の内部に対になった帯状電極を備えた双極型の静電チャックにおいて、上記帯状電極の線幅及び帯状電極間の幅をそれぞれ0.3〜3mmとしたことを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

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