特許

J-GLOBAL ID：200903009792151763

静電アクチュエータ

発明者： 佐藤 和彦 ,  古田 元明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-012004
公開番号（公開出願番号）：特開2002-218767
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】ダイシング時に、ダイサーシートを基板に貼り付けて切断する場合に、振動板などの薄肉部にクラックが発生しやすくなる。【解決手段】ダイシング位置35と振動板51もしくは、振動板51と同程度の薄肉部を持つ構造体との距離tを100μm以上離す構成とする。

請求項（抜粋）：

表面の結晶面が110面であるシリコンウエハーの1面に薄肉の振動板を形成したシリコンウエハーと、少なくとも1面に前記振動板が変位可能なように凹部を形成したホウケイ酸ガラスウエハーとを陽極接合した後に、ダイシングシートに貼り付けてダイシングにより切断する工程を有する静電アクチュエータにおいて、前記振動板もしくは、振動板と同程度の薄肉部を持つ構造体とダイシング位置との距離が100μm以上離れていることを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (4件)：

H02N 1/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (3件)：

H02N 1/00 ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (6件)：

2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP22 ,  2C057AP24 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15