特許

J-GLOBAL ID：200903009804112653

研磨装置、研磨方法及びこれら装置又は方法を用いて得られた工作物

発明者： 安井 健吾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-371588
公開番号（公開出願番号）：特開2002-172550
出願日： 2000年12月06日
公開日（公表日）： 2002年06月18日
要約：

【要約】【課題】 非球面レンズのように表面形状が複雑な工作物を研磨する場合等において、工作物の表面にうねり等の形状崩れが生じることを防止する。【解決手段】 研磨工具50における弾性体52の内部空間内に、自身が取り付けられている研磨布53表面の微小区画部分に工作物表面が接触したか否かを検知する接触検出器61,61,...と、ピストン63aを軸方向に移動させてその微小区画部分を工作物表面と接触させ、或いは離間させることが可能なアクチュエータ63,63,...とが設けられる。接触面積算出器は、接触検出器61,61,...からの情報に基づいて工作物表面と研磨布53との接触面積を算出する。制御装置は、工作物表面に研磨布53をほぼ一定の力で接触させた状態で研磨工具50を移動させつつ、接触面積算出器からの情報等に基づいて、工作物表面と研磨布53との接触面積が予め設定した基準面積とほぼ一致するようにアクチュエータ63,63,...を作動させる。

請求項（抜粋）：

研磨対象たる工作物を保持する工作物保持部と、支持部材に取り付けられた弾性体に研磨布紙を覆設してなる研磨工具とを有し、前記工作物の表面と前記研磨布紙とをほぼ一定の力で接触させた状態で、前記工作物保持部と前記研磨工具とを相対移動させて前記工作物表面の研磨を行う研磨装置において、前記工作物表面と前記研磨布紙との接触面積を検出する接触面積検出手段と、前記工作物表面と前記研磨布紙との接触面積を変化させる接触面積可変手段と、前記工作物表面の研磨の際、前記接触面積検出手段からの検出情報に基づいて、前記工作物表面と前記研磨布紙との接触面積が常時ほぼ一定になるように前記接触面積可変手段を作動させる制御を行う制御手段とを備えたことを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：

B24B 13/00 ,  B24B 13/01 ,  B24B 49/10

FI (4件)：

B24B 13/00 C ,  B24B 13/00 A ,  B24B 13/01 ,  B24B 49/10

Fターム (11件)：

3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034BB34 ,  3C034BB92 ,  3C034CB14 ,  3C034DD07 ,  3C049AA04 ,  3C049AA09 ,  3C049BA01 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01