特許
J-GLOBAL ID:200903009806570551

導電性ボールの搭載装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-197214
公開番号(公開出願番号):特開平10-041342
出願日: 1996年07月26日
公開日(公表日): 1998年02月13日
要約:
【要約】【課題】 搭載ヘッドが下降・上昇動作を行って容器内の導電性ボールをピックアップしワークに移送搭載するにあたり、容器の底隅部に導電性ボールが滞溜して劣化するのを解消できる導電性ボールの搭載装置を提供すること。【解決手段】 容器5に水平に張設されたメッシュ6上に導電性ボール1が貯溜される。メッシュ6上の底隅部にはテーパ面8aを有するテーパ面部8が設けられる。搭載ヘッド22が下降・上昇することにより、その下面に導電性ボール1を真空吸着してピックアップする。底隅部のテーパ面部8には導電性ボール1は存在しないので、ここに導電性ボール1が滞溜して劣化することはない。またテーパ面部8上の導電性ボール1は容器5の中央部側、すなわち搭載ヘッド22の真下側へ流動しやすいので、容器5内の導電性ボール1を比較的むらなく搭載ヘッドにピックアップさせることができる。
請求項(抜粋):
導電性ボールを貯溜する容器と、ワークの位置決め部と、搭載ヘッドと、この搭載ヘッドを前記容器と前記ワークの位置決め部の間を移動させる移動テーブルと、この搭載ヘッドに上下動作を行わせる上下動手段とを備え、前記搭載ヘッドに前記容器の上方で下降・上昇動作を行わせて前記容器に貯溜された導電性ボールを前記搭載ヘッドの下面に真空吸着してピックアップし、次いで前記搭載ヘッドを前記ワークの位置決め部の上方へ移動させ、そこで再度下降・上昇動作を行わせて導電性ボールをワークに搭載するようにした導電性ボールの搭載装置であって、導電性ボールが貯溜される前記容器の内部の底隅部に、中央へ向って下り勾配のテーパ面を有するテーパ面部を設けたことを特徴とする導電性ボールの搭載装置。
IPC (3件):
H01L 21/60 311 ,  B23P 21/00 305 ,  H01L 21/321
FI (4件):
H01L 21/60 311 Q ,  B23P 21/00 305 B ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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