特許
J-GLOBAL ID：200903009808063606
露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333582
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163357
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 基板供給装置の振動が露光装置のXYステージに伝わるのを防ぐ。【構成】 露光装置であるステッパ本体S1 は、XYステージ2、縮小投影レンズ系3、照明系5等を支持する台盤1を備えており、台盤1は複数のエアマウント8によって弾力的に支持されている。XYステージ2へウエハを供給する基板供給装置F1 は、プリアライメント装置10、搬入ハンド11およびXYステージ2からウエハを回収する図示しないロボット等を有し、これらは、台盤1と別体であり、直接床7に固定された支持台14に支持されているため、前記プリアライメント装置10やロボットの駆動装置の振動がXYステージ2に伝わるおそれはない。
請求項（抜粋）：
弾性支持手段によって弾力的に支持された台盤と、該台盤上に移動自在に支持されたXYステージと、該XYステージを移動させる駆動手段と、前記XYステージに基板を供給する基板供給装置を有する露光装置であって、前記基板供給装置が前記台盤と別に支持されており、前記駆動手段が、前記台盤と前記基板供給装置の相対位置の変化を検出する検出手段の出力に基づいて前記XYステージの移動量を補正する制御手段を有することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/22
, H01L 21/68
