特許
J-GLOBAL ID：200903009808104817
オゾン配管系でのオゾンガスの純度維持方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北谷 寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096275
公開番号（公開出願番号）：特開平10-287406
出願日： 1997年04月15日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 オゾンの自己分解や反応を抑制して、供給するオゾン消費設備に供給されるオゾン濃度の変化を可及的に抑制することのできるオゾンガスの純度維持方法を提供する。【解決手段】 オゾン発生器に供給する原料ガス及び発生オゾンを希釈する希釈用ガスとして、不純ガス成分をメタンガス280ppm以下、水素0.14%以下、一酸化炭素ガス0.41%以下、水分1290ppm以下に調整したものを使用する。
請求項（抜粋）：
オゾン発生器に供給する原料ガス及び発生オゾンを希釈する希釈用ガスとして、不純ガス成分をメタンガス280ppm以下、水素0.14%以下、一酸化炭素ガス0.41%以下、水分1290ppm以下に調整したものを使用することを特徴とするオゾン使用設備で使用するオゾンガスの純度維持方法。
引用特許：
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