特許
J-GLOBAL ID：200903009809737147
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119118
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304407
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 凹凸が激しい試料の観察においても、探針が試料に接触することのないようにする。【解決手段】 カンチレバの垂直方向の振動の情報を持つ波形整形器12の出力信号は、FM復調器14により振動周波数に応じた電圧VVfに変換され、電圧信号VVfは変位量比較器27に送られる。カンチレバの平行方向の振動の情報を持つ波形整形器24の出力信号は、FM復調器26により振動周波数に応じた電圧VHfに変換され、電圧信号VHfは変位量比較器27に送られる。変位量比較器27は、FM復調器26からの電圧信号VHfが基準電圧VH0よりも小さくなると、電圧信号VHfに定数Kを掛け、FM復調器14からの電圧信号VVfからK・VHfを減算した信号を誤差増幅器15に送る。誤差増幅器15はこの電圧と基準電圧Vo との差信号を求めフィルタ16を介してZスキャナ駆動回路17へ送る。
請求項（抜粋）：
一端が固定されたカンチレバと、該カンチレバの他端に固定された探針と、前記カンチレバを試料面に対して略直交する方向に振動させる第1の振動手段と、前記カンチレバを試料面に対して略平行な方向に振動させる第2の振動手段と、前記カンチレバの前記直交方向の振動数と前記平行方向の振動数を検出する手段と、該手段の出力に基づいて試料と探針との間の相対的な距離を変化させる手段とを備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
