アクチュエーターおよびこれを用いたアクチュエーターならびに走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398287
公開番号（公開出願番号）：特開2003-199368
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】通常の四角柱の形状のアクチュエーターと比べて高い共振周波数を有するアクチュエーターを提供する。【解決手段】アクチュエーター10は、互いに平行な端12と端14と、これらに直交する軸16とを有している。端14は固定される端すなわち固定端であり、従って端12は自由端である。自由端12の端面の面積は固定端14の端面の面積よりも小さい。アクチュエーター10は中実であり、角錐台の形状、より詳しくは四角錐台の形状を有している。従って、軸16に垂直な平面で切ったアクチュエーター10の断面は正方形であり、その面積は固定端14から自由端12に向かって単調に減少している。より詳しくは、アクチュエーター10の断面の面積は連続的に減少している。

請求項（抜粋）：

電気エネルギーの入力に対して変位を生じるアクチュエーターであって、アクチュエーターは固定端と自由端とを有し、自由端の端面の面積が固定端の端面の面積よりも小さい、アクチュエーター。

IPC (5件)：

H02N 2/00 , G01N 13/10 , G12B 21/20 , H01L 41/083 , H01L 41/09

FI (5件)：

H02N 2/00 B , G01N 13/10 C , H01L 41/08 S , H01L 41/08 U , G12B 1/00 601 G

前のページに戻る