特許

J-GLOBAL ID：200903009821305236

ウェーハのノッチ部研磨装置

発明者： 長谷川 文彦 ,  黒田 泰嘉 ,  山田 正幸 ,  小林 誠
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 落合 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259398
公開番号（公開出願番号）：特開平9-076148
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 ノッチ部の内面を効率良く研磨でき、しかも研磨面の均質性をいじすることができる、ウェーハのノッチ部研磨装置を提供する。【解決手段】 ウェーハWのノッチ部Nを研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープTと、テープTが巻回保持されテープTを繰り出しする繰出し用リール5と、繰り出されたテープTを巻き取る巻取り用リール6と、外周形状がノッチ部N内面の形状に対応しており、繰出し用リール5および巻取り用リール6間でテープTの裏面からテープTの表面をノッチ部N内面に押圧可能であって、テープTの走行に連動して回動自在な押圧ホイール3と、押圧ホイール3をウェーハWに対して接近離反させるエアシリンダ2と、テープTの表面とノッチ部N内面との圧接を保持した状態で繰出し用リール5および巻取り用リール6を動作させてテープTを往復走行させるテープ往復手段とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

ウェーハのノッチ部を研磨するための研磨装置であって、表面に砥粒が担持されたテープと、このテープが巻回保持され当該テープを繰り出しする繰出し用リールと、この繰出し用リールによって繰り出されたテープを巻き取る巻取り用リールと、外周形状がノッチ部内面の形状に対応しており、前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リール間でテープの裏面からテープの表面を前記ノッチ部内面に押圧可能であるとともに、テープの走行に連動して回動自在なテープ押圧部材と、このテープ押圧部材をウェーハに対して接近離反させる押圧付勢手段と、前記テープの表面と前記ノッチ部内面との圧接を保持した状態で前記繰出し用リールおよび前記巻取り用リールを動作させて前記テープを往復走行させるテープ往復手段とを備えたことを特徴とするウェーハのノッチ部研磨装置。