無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：櫻井俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213805
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308429
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【目的】無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システムにおいて、移載作業の確実化と作業時間の短縮化とを図る。【構成】半導体ウエハを収容するキャリア(2)の所定の箇所に移載位置補正用マーク(m)が付され、キャリア(2)をウエハ処理装置(1)から無軌道移動ロボット(10)に移載する際は、キャリア(2)に付された移載位置補正用マーク(m)がアーム(12)の先端部に取付けられたカメラ(14)で読取られ、上記移載時の位置の補正が行われる。

請求項（抜粋）：

無軌道移動ロボットのアームの先端部にチャックとカメラを取付けておき、このカメラで移載位置補正用マークを読取って移載時の位置を補正したのち、半導体ウエハを収容するキャリアを前記チャックで保持し開放することにより、ウエハ処理装置との間の前記キャリアの移載を行う自動搬送システムにおいて、前記キャリアの所定の箇所に前記移載位置補正用マークを付しておき、前記キャリアを前記ウエハ処理装置から前記無軌道移動ロボットに移載する際は、前記キャリアに付された前記移載位置補正用マークを前記カメラで読取って前記移載時の位置を補正することを特徴とする無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 5/00 , B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B25J 5/00 A , B65G 49/07 C

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