特許

J-GLOBAL ID：200903009828328991

クロロシランおよび水素の反応器

発明者： リチャード・アンソニー・バーギ ,  エリック・ミッシェル・フレミング
出願人/特許権者： ヘムロック・セミコンダクター・コーポレーション
代理人 (1件)： ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129356
公開番号（公開出願番号）：特開平6-293511
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】 600°C以上の温度におけるクロロシランの水素添加用反応器の提供。【構成】 該反応器は、(1)炭化ケイ素をコーテイングした炭素繊維複合材料で成形された反応室、(2)炭化ケイ素をコーテイングした炭素繊維複合材料で成形された発熱体、および(3)その発熱体を電気的絶縁する窒化ケイ素絶縁体という改良点からなる。

請求項（抜粋）：

600°C以上の温度でクロロシランと水素を接触させる反応室から成り、該反応室を炭化ケイ素被覆の炭素繊維複合材料で作ることを特徴とする反応器。

IPC (3件)：

C01B 33/107 ,  C01B 31/36 ,  C08J 5/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-123011
  
• 特開昭62-123011
  
• 特開昭62-123011