特許
J-GLOBAL ID:200903009830250592
低スパッタ黒鉛材料の製造法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-271893
公開番号(公開出願番号):特開平6-122553
出願日: 1992年10月09日
公開日(公表日): 1994年05月06日
要約:
【要約】【目的】 コークス又はピッチ等の炭素原料にB4C等のボロン成分を添加して高温で加熱処理することにより、高緻密化された、そして高熱伝導性を有する低スパッタ率の黒鉛材料を製造する方法に関するものである。【構成】 使用原料のコークス又はピッチ中にB4Cパウダーを混練した一定粒度の混練品を一定圧力を加えて成形し、その後高温加熱して一定温度で焼成を行い、更に加熱して2,000°C以上の一定温度に保持して黒鉛化した後に、この黒鉛化品に直接通電加熱し、この加熱温度を保持したままで一定圧力を加えて超高温塑性加工を行う。
請求項(抜粋):
使用原料のコークス又はピッチ中にB4Cパウダーを混練した一定粒度の混練品を一定圧力を加えて成形し、その後高温加熱して一定温度で焼成を行い、更に加熱して2,000°C以上の一定温度に保持して黒鉛化した後に、この黒鉛化品に直接通電加熱し、この加熱温度を保持したままで一定圧力を加えて超高温塑性加工を行うことにより、B4Cが添加された黒鉛化品の緻密化及び高熱電導化を促進する低スパッタ黒鉛材料の製造法。
IPC (2件):
C04B 35/54
, C01B 31/04 101
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