特許
J-GLOBAL ID：200903009833758600
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-356853
公開番号（公開出願番号）：特開平11-185695
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 コストを上げることなく、Heガス等の導入を可能とすると共に、ホットプラズマ、クールプラズマの両者に対応可能とする。【解決手段】 アナライザチャンバ40を排気する第2のターボポンプ62のバッキングラインを、イオンレンズチャンバ30を排気する第1のターボポンプ60によって圧力が下げられたイオンレンズチャンバ30に接続する。ロータリポンプ50として排気速度の大きな物を用いると共に、該ロータリポンプ50とインターフェースチャンバ20を接続する配管52の途中に、圧力調節用の可変弁74を設ける。
請求項（抜粋）：
イオンレンズチャンバを排気する第1のターボポンプと、アナライザチャンバを排気する第2のターボポンプを備えた誘導結合プラズマ質量分析装置において、第2のターボポンプのバッキングラインを、第1のターボポンプによって圧力が下げられた部分に接続することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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