特許
J-GLOBAL ID：200903009834558052
真空槽の蓋開閉機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107390
公開番号（公開出願番号）：特開平10-299900
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】蓋開閉のために真空槽の上部に必要な空間を小さくすることが可能で、真空槽を上下に多段に積み重ねる真空槽多段化構成装置の製作を容易とする真空槽の蓋開閉機構を提供する。【解決手段】真空槽1の側面に取り付け部材である第1のベース24を取り付け、その下方に第2のベース27を取り付け、その下面に上下駆動手段である油圧シリンダ26を取り付け、油圧シリンダ26に第2のベース27と第1のベース24とを貫通するの第1のシャフト28を設け、その先端に第3のベース20を取り付け、その上面に回転駆動手段であるモータ29を取り付け、モータ29の回転軸に連結部材である第4のベース22を取り付け、第4のベース22と蓋2とを連結し、蓋2を開く場合には油圧シリンダ26を駆動して蓋2を持ち上げた後モータ29を駆動して蓋2を水平方向に回動させ、蓋2を閉める場合には逆順の動作を実行する。
請求項（抜粋）：
箱体と、上記箱体の上部を蔽って上記箱体内の気密を保つ蓋とを含んでなる真空槽の蓋開閉機構において、上記蓋開閉機構は、上記箱体の側面に固定した取り付け部材と、上記取り付け部材に取り付けた上下駆動手段と、上記上下駆動手段の上に取り付けた回転駆動手段と、上記回転駆動手段と上記蓋とを連結する連結部材と、を含んでなり、上記蓋を開く場合には、上記上下駆動手段を駆動して上記蓋を持ち上げた後、上記回転駆動手段を駆動して上記蓋を水平方向に回動させ、上記蓋を閉める場合には、上記回転駆動手段を駆動して上記蓋を水平方向に回動させて上記箱体の真上に位置させた後、上記上下駆動手段を駆動して上記蓋を上記箱体の上に降ろす、ことを特徴とする真空槽の蓋開閉機構。
IPC (4件)：
F16J 13/22
, B01J 3/03
, H01L 21/64
, H01L 21/205
F16J 13/22
, B01J 3/03 J
, H01L 21/64
, H01L 21/205
