特許
J-GLOBAL ID：200903009837089010
半導体製造装置におけるウェーハの移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
斎藤 春弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302638
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139160
出願日： 1994年11月14日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】キャリアステージにある複数枚のウェーハの内に不良品が混在したり、ウェーハ収納用の溝や棚に空きがあってもウェーハの移載作業を効率良く行うようにする。【構成】半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う固定型の1枚用移載ペンシル4aと一体可動型の例えば4枚用移載ペンシル4Bとを同一方向に揃えた状態では両者が重なるように両者の基部を垂直方向に組み合わせて設置し、移載すべきウェーハの移載枚数が1枚の場合には、4枚用移載ペンシル4Bを所定角度回転することにより、ウェーハの移載に関しては1枚用移載ペンシル4aを有効、4枚用移載ペンシル4Bは無効とするようにし、また、移載すべきウェーハの移載枚数が5枚の場合には、4枚用移載ペンシル4Bを基準位置に戻して5枚用移載ペンシルを構成する。そのために、上記基準位置にきたとき、4枚用移載ペンシル4Bに制動力を付与すると共に、一対の磁石体16a、16bの吸引力によって4枚用移載ペンシル4aを位置決めするのが望ましい。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置におけるウェーハの移載を行う固定型の1枚用移載ペンシルと一体可動型のN枚用移載ペンシルとを同一方向に揃えた状態では両者が重なるように両者の基部を垂直方向に組み合わせて設置し、移載すべきウェーハの移載枚数が1枚の場合には、上記N枚用移載ペンシルを1枚用移載ペンシルが設けられている基準位置から所定角度回転することにより、ウェーハの移載に関しては1枚用移載ペンシルを有効、N枚用移載ペンシルは無効とするようにし、また、移載すべきウェーハの移載枚数が(N+1)枚の場合には、上記N枚用移載ペンシルを上記基準位置に戻して上記1枚用移載ペンシルに重ねることにより(N+1)枚用移載ペンシルを構成するようにしたことを特徴とする半導体製造装置におけるウェーハの移載装置。但し、Nは正の整数とする。
IPC (2件)：
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