特許
J-GLOBAL ID:200903009838874129

光媒体内に分散形ブラッグ反射器を形成する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三俣 弘文
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-345564
公開番号(公開出願番号):特開平6-230207
出願日: 1993年12月22日
公開日(公表日): 1994年08月19日
要約:
【要約】【目的】 複数本の化学線ビームを重合せることにより形成された干渉パターンに露光することにより、感光性光導波媒体内にブラッグ回折格子を形成する改良された方法を提供する。【構成】 ブラッグ回折格子が従来技術により形成されたとき、この回折格子は、中央ピークのほかに、全体として望ましくない一連の副ピークを有する反射率スペクトルを示す傾向がある。これらの副ピークは、波の干渉効果により引起される。発明にかかる方法は、回折格子の平均屈折率を空間的に変えることにより、または、回折格子周期を空間的に変えることにより、副ピークを修正し、または、取除く。
請求項(抜粋):
少なくとも1つの光進行軸を有する光透過感光性物体であって、該物体内でブラッグ条件を定め、ブラッグ条件を近似的に満足する光の真空波長に対して主ピークを有する反射率スペクトルを示す第1屈折率摂動が形成された物品の製造方法において、(a) 2本の化学線ビームを生成させるステップであって、各化学線ビームは、横断面において、少なくとも1個の上昇部と少なくとも1個の下降部とを含む強度プロファイルとを有する化学線ビーム生成ステップと、(b) 屈折率摂動の形成に至るために、干渉パターンが上記光進行軸方向に形成されるように、上記感光性物体の少なくとも一部に化学線ビームを入射するステップと第1屈折率摂動の形成に至るために、干渉パターンが上記光進行軸方向に形成されるように、上記感光性物体の少なくとも一部に化学線ビームを入射するステップと、c. 前記(b)ステップは、少なくとも1個の上昇部と少なくとも1個の下降部とを光進行軸方向に有する第1摂動内に空間的に平均化された屈折率プロファイルに至り、「共振区間」と名付けられた少なくとも1個の区間は、上記上昇部と上記下降部との間に含まれ、これにより、化学線に露光されることがなく上記反射スペクトルは、少なくとも1個の副ピークを含み、(d) 前記(b)ステップの前または後に、上記物体内に第2屈折率摂動を生じさせることにより、上記主ピークと上記副ピークとの相対振幅に変化を生じさせるステップとを含むことを特徴とする、光媒体内に分散形ブラッグ反射器を形成する方法。
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭57-190908
  • 特表昭62-500052

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