光学記録装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341980
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162022
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】光ディスク原盤の露光においては、露光ビーム径を変えて溝形状を変える方法が取られているが、時間がかかり、その再現性もあまり良くなかった。そこで、迅速、且つ、再現性良く露光ビーム径を変えるようにする。【解決手段】ビームエキスパンダのレンズ106、107の間に調整部108を設ける。レーザ光源部101が発生したレーザビームをレンズ106、107を用いて整形し、調整部108で対物レンズ3に入射するビームの径を調整し、対物レンズ3を介してレジスト板4表面を露光する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源部とビームエキスパンダを有し、レーザ光源部はレーザビームを発生し、ビームエキスパンダは互いに向かい合った複数のレンズから成るレンズ群を備え、レーザ光源部が発生したレーザビームをレンズ群を用いて整形し、対物レンズを介して被露光面を露光する光学記録装置において、ビームエキスパンダのレンズの間に調整部を設け、調整部は対物レンズに入射するビームの径を調整して被露光面を露光するレーザビームの径を調整することを特徴とする光学記録装置。

IPC (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/135

FI (2件)：

G11B 7/26 501 , G11B 7/135 Z

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