特許

J-GLOBAL ID：200903009840454064

感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 池田 貴宣 ,  弓場 智之
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-313224
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122990
出願日： 2000年10月13日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】本発明は、安定性に優れ、製造工程が簡略で、高解像度のパターンが得られ、キュア後に強伸度特性に優れた膜を得ることができる感光性ポリイミド前駆体組成物を提供せんとするものである。【解決手段】本発明のポリイミド前駆体組成物は、下記(a)および(b)を含むことを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物である。(a)一般式(1)で表される構造単位を有するポリマー(b)一般式(2)で表される分子内に2つ以上の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基を表し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基を表す。R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種を表す。nは1または2である。)【化2】(R4は水素、メチル基、エチル基のいずれかを表し、R5は炭素数2以上の(m+1)価の有機基を表す。mは2以上の整数である。)

請求項（抜粋）：

下記(a)および(b)を含むことを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。(a)一般式(1)で表される構造単位を有するポリマー(b)一般式(2)で表される分子内に2つ以上の水酸基を有する(メタ)アクリレート化合物【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基を表し、R2は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基を表す。R3は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または、炭素数1〜30の有機基より選ばれた少なくとも1種を表す。nは1または2である。)【化2】(R4は水素、メチル基、エチル基のいずれかを表し、R5は炭素数2以上の(m+1)価の有機基を表す。mは2以上の整数である。)

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F283/04 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/312

FI (7件)：

G03F 7/037 501 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08F283/04 ,  G03F 7/027 502 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/312 D

Fターム (53件)：

2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC34 ,  2H025CB25 ,  2H025CB55 ,  2H025FA29 ,  4J011AC04 ,  4J011QA03 ,  4J011QA34 ,  4J011RA06 ,  4J011RA10 ,  4J011RA12 ,  4J011RA17 ,  4J011SA07 ,  4J011SA17 ,  4J011SA21 ,  4J011SA22 ,  4J011SA31 ,  4J011SA34 ,  4J011SA41 ,  4J011SA42 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA65 ,  4J011SA78 ,  4J011SA80 ,  4J011SA82 ,  4J011TA04 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AB34 ,  4J026AC33 ,  4J026BA30 ,  4J026BB01 ,  4J026DB06 ,  4J026DB24 ,  4J026DB36 ,  4J026EA06 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG09 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03