特許
J-GLOBAL ID:200903009841181576

ガスレーザビーム吸収装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮井 暎夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-157624
公開番号(公開出願番号):特開2000-349372
出願日: 1999年06月04日
公開日(公表日): 2000年12月15日
要約:
【要約】【課題】 従来のCO2 レーザビーム吸収装置は、円錐体の先端部の受光表面が温度上昇し劣化し、劣化による飛散物がレーザ発振器光学部品などを汚染するという不具合があった。【解決手段】 頂点がCO2 レーザビーム11の入射方向に向かいかつCO2 レーザビーム11の中心軸上に位置した状態でCO2 レーザビーム11を円錐面で受光して反射する円錐体1と、円錐体1の円錐面を包囲するとともに円錐体1の底面から頂点に向かって径が大きくなる筒状であって、円錐体1からのビームの反射光を間接受光表面4で受光して吸収し、外側の面を熱交換面5とした内筒2と、内筒2の熱交換面5との間に冷媒循環路7を形成する外筒6とを備え、円錐体1の直接受光表面12の面粗さをCO2 レーザビーム11の波長未満としたことにより、CO2 レーザビーム11のほとんどを内筒2の間接受光表面4へ反射させる。
請求項(抜粋):
頂点がガスレーザビームの入射方向に向かいかつ前記ガスレーザビームの中心軸上に位置した状態で前記ガスレーザビームを円錐面で受光して反射する円錐体と、前記円錐体の円錐面を包囲するとともに前記円錐体の底面から頂点に向かって径が大きくなる筒状であって、前記円錐体からの前記ガスレーザビームの反射光を前記筒状の内側の面で受光して吸収し、外側の面を熱交換面とした内筒と、前記内筒の熱交換面との間に冷媒循環路を形成する外筒とを備え、前記ガスレーザビームの受光表面となる前記円錐体の円錐面の面粗さをガスレーザビームの波長未満としたガスレーザビーム吸収装置。
IPC (2件):
H01S 3/10 ,  B23K 26/00
FI (2件):
H01S 3/10 Z ,  B23K 26/00 Z
Fターム (7件):
4E068AA00 ,  4E068CA05 ,  4E068CK01 ,  5F072AA05 ,  5F072JJ09 ,  5F072KK21 ,  5F072RR01

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