特許

J-GLOBAL ID：200903009856564277

磁気検出素子および磁気検出装置

発明者： 田口 元久 ,  新條 出 ,  川野 裕司 ,  深見 達也 ,  堤 和彦 ,  坂井 裕一 ,  平岡 直樹 ,  畑澤 康善
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083502
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035342
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 GMR素子は非常に敏感な素子であるため、下地層の表面を平坦にする必要があるが、集積回路が形成された面は凹凸があるため、この面にGMR素子を形成することは困難であった。【解決手段】 基板上に形成された下地層と、下地層上に形成され、磁界の変化を検出する巨大磁気抵抗素子と、下地層上に形成され、巨大磁気抵抗素子によって検出される磁界の変化に基づいて、所定の演算処理を行う集積回路と、を備えてなり、巨大磁気抵抗素子および集積回路を同一面上に形成した。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された下地層と、上記下地層上に形成され、磁界の変化を検出する巨大磁気抵抗素子と、上記下地層上に形成され、上記巨大磁気抵抗素子によって検出される磁界の変化に基づいて、所定の演算処理を行う集積回路と、を備えてなり、上記巨大磁気抵抗素子および上記集積回路を同一面上に形成したことを特徴とする磁気検出素子。

IPC (3件)：

G01D 5/18 ,  G01P 3/488 ,  H01L 43/08

FI (3件)：

G01D 5/18 L ,  G01P 3/488 D ,  H01L 43/08 Z