特許

J-GLOBAL ID：200903009858283674

ウエハ搬送装置

発明者： 神酒 直人
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-046227
公開番号（公開出願番号）：特開2002-252267
出願日： 2001年02月22日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 アライナーを使用しなくても、ウエハを正確に位置決めして検査することができるウエハ検査装置を提供する。【解決手段】 多数のウエハを収納するウエハ収納部から、ウエハを取り出し、所定の載置位置へウエハを搬送するウエハ搬送装置において、ウエハの位置を検出するセンサーをウエハ収納部及び載置位置の少くとも一方に設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。

請求項（抜粋）：

多数のウエハを収納するウエハ収納部からウエハを取り出し、所定の載置位置へウエハを搬送するウエハ搬送装置において、ウエハの位置を検出するセンサーをウエハ収納部及び載置位置の少くとも一方に設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

H01L 21/68 F ,  B65G 49/07 C ,  G01N 21/84 C ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 G ,  H01L 21/66 Z

Fターム (27件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  4M106AA01 ,  4M106DG21 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33