特許
J-GLOBAL ID：200903009865946883
走査プローブ顕微鏡用プローブと微細加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090295
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300515
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡の探針と導体試料表面の間に適度な電流を流してnmスケールの微細なピット加工を可能にする。【構成】 カンチレバー2の先端に設けた導電性探針1の表面に、たとえば10nm〜1μm程度の適度な厚さの絶縁皮膜3を形成する。カンチレバー2のたわみを光てこ法等により知ることができるように探針のついていない面にAu薄膜4をコートする。
請求項（抜粋）：
先鋭化された金属または半導体の表面を絶縁物で被覆した探針を持ったカンチレバーからなる走査プローブ顕微鏡用プローブ。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
, H01J 37/30
