特許
J-GLOBAL ID：200903009867563477
対向ターゲット式スパッタ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184610
公開番号（公開出願番号）：特開2002-004041
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：
【要約】【課題】 スパッタされたターゲット材料の粒子が保護シールドに付着した後、剥離することに起因して生じる異常放電の発生を抑制する。【解決手段】 バッキングプレート8のターゲット2との接着面が、ターゲット2の接着される側の面と同一面積かつ同一形状となるような構成とする。これにより、保護シールド9における他方のターゲットのスパッタ面と対向する部分の面積を小さくして保護シールド9に付着するターゲット2の膜材料の粒子の量を減少させる。また、保護シールド9における他方のターゲットのスパッタ面と対向する先端部が、ターゲット2及びバッキングプレート8の側面との最近接位置で突状となるように外側に向って斜めに加工されるような構成とする。これにより、保護シールド9から剥離膜が剥離したとしても、この剥離膜が対向するターゲット間の放電領域に入り込むことを防ぐ。
請求項（抜粋）：
所定の空間を介してスパッタ面が対向するように配置され、バッキングプレートに接着固定された一対のターゲットと、前記一対のターゲットの両スパッタ面に対して垂直な方向に磁界を発生させる磁界発生手段とを有し、前記一対のターゲットの両スパッタ面の間の空間の側方に配置された基板上に膜を形成するための対向ターゲット式スパッタ装置において、前記バッキングプレートは、前記ターゲットとの接着面が前記ターゲットの接着される側の面と同一面積かつ同一形状であり、前記ターゲットと前記バッキングプレートとが接着された場合、前記ターゲットのスパッタ面に垂直である前記ターゲット及び前記バッキングプレートの側面は、凹凸のない平滑面を形成し、前記ターゲット及び前記バッキングプレートの側面から所定の距離を介して該側面と平行に設置された保護シールドを有することを特徴とする対向ターゲット式スパッタ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/34 C
, C23C 14/34 D
, H01F 41/18
4K029DC20
, 4K029DC23
, 4K029DC25
, 4K029DC32
, 4K029DC39
, 5E049GC01
