特許

J-GLOBAL ID：200903009867867549

感光性樹脂組成物

発明者： 藤木 剛 ,  村瀬 裕明 ,  阪本 浩規
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-099403
公開番号（公開出願番号）：特開2001-281871
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【課題】 露光感度の優れたケイ素系感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 特定のハロシランに、非プロトン性溶媒中でLi塩および金属ハロゲン化物の共存下にMgまたはMg合金を作用させることにより得られる感光性樹脂組成物であって、(a)一般式【化1】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、y、zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和は5〜400であり、かつ(y+z)/(x+y+z)が0.15以下である。]で表されるポリシラン100重量部、および(b)一般式【化2】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。nは4〜20である。]で表される環状シラン化合物10〜200重量部を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

一般式 R2SiX2 (3)[式中、Rは、同一または異なって、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Xは、ハロゲン原子を示す。]で表されるジハロシラン、ならびに、必要に応じて一般式 RSiX3 (4)[式中、RおよびXは、前記と同様である。]で表されるトリハロシランおよび/または一般式 SiX4 (5)[式中、Xは、前記と同様である。]で表されるテトラハロシランに、非プロトン性溶媒中でLi塩および金属ハロゲン化物の共存下にMgまたはMg合金を作用させることにより得られる感光性樹脂組成物であって、(a)一般式【化1】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。x、y、zは、それぞれ0以上の数を示し、x、yおよびzの和は5〜400であり、かつ(y+z)/(x+y+z)が0.15以下である。]で表されるポリシラン100重量部、および(b)一般式【化2】[式中、Rは、水素原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アリールアルキル基、アリール基、アルコキシル基またはシリル基を示す。Rは、全てが同一でも或いは2つ以上が異なっていてもよい。nは4〜20である。]で表される環状シラン化合物10〜200重量部を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/075 501 ,  C08G 77/60 ,  C08K 5/549 ,  C08L 83/16

FI (5件)：

G03F 7/075 511 ,  G03F 7/075 501 ,  C08G 77/60 ,  C08K 5/549 ,  C08L 83/16

Fターム (12件)：

2H025AA01 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD20 ,  2H025CC03 ,  4J002CP011 ,  4J002EX006 ,  4J002GP03 ,  4J035JA01 ,  4J035LA03 ,  4J035LB20