導電性部材の観察・計測方法及びその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189610
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043373
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】本発明は、アトムプロ-ブに用いられる単一針状試料を平面状化することにより装置の分析効率と応用範囲を向上させ、更にDead Timeを大きく減少させるとともに、短時間で大量の情報が得られる原子オ-ダ-の極微細領域計測方法と装置を提供することを目的としている。【構成】装置は凹凸のある平面状試料とそれから1μm以下にまで接近したマイクロ引き出し電極よりなり、試料面上の凹凸(ティップ11)は機械切削または電解研摩、ドライエッチング等により形成させる。【効果】本発明によれば、平面試料面上の多数の凹凸やティップの先端の原子配列・構造・組成分布・電子状態が調べられるという画期的な効果がある。

請求項（抜粋）：