特許
J-GLOBAL ID：200903009870952646
光制御素子及び撮像装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331686
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175050
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 ミラーの支持部材のねじり剛性を低くすることによりミラーを回転させてもミラー面が歪まない光制御素子を得ることを目的とする。【構成】 入射光を反射するミラー4、上記ミラー4を回転できるように支持するフレキシブルピボット31、32、上記フレキシブルピボット31、32を固定するビーム7、上記ビーム7に固定され上記ミラー4を駆動する電極21から構成される光制御素子3において、ミラー4の支持部材として互いに垂直に接合した2枚の薄板から構成されたねじり剛性の低いフレキシブルピボット31、32を用いる。
請求項（抜粋）：
複数個マトリクス状に並べられかつ面状に配置された光制御素子において、入射光を反射するミラー、上記ミラーを1つの軸に関して回転できるように支持する互いに垂直に接合した2枚の薄板から構成された、ねじり剛性の低いフレキシブルピボット、上記フレキシブルピボットを固定するビーム、上記ビームに固定され上記ミラーを駆動する電極とを具備したことを特徴とする光制御素子。
IPC (2件)：
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