特許

J-GLOBAL ID：200903009879340376

結晶構造データと構成元素データを同時に計測するシステム及び方法

発明者： 吉田 正典 ,  近藤 建一 ,  中村 一隆 ,  藤本 靖 ,  常深 博 ,  大谷 正之
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  科学技術振興事業団
代理人 (2件)： 池浦 敏明 (外1名) ,  池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125020
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314709
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 未知結晶性試料の結晶構造データ及び構成元素データを単一の計測で簡便かつ迅速に知ることのできる技術を提供する。【解決手段】 測定すべき試料3に照射するX線ビームを出射するX線源1と、該X線源1からのX線ビームを成形するビーム成形手段2と、測定すべき試料3を保持する治具と、測定すべき試料3からのX線回折像と、該試料3に入射したX線により発生する蛍光X線を同時に入射しうるように配置された直接撮像型X線CCDカメラと、該CCDカメラ内のCCDチップ6に不要な蛍光X線が入射することを防止する不要蛍光X線除去手段とを具備し、測定すべき試料3の結晶構造データと構成元素データを同時に計測することを特徴とする計測システム。

請求項（抜粋）：

測定すべき試料に照射するX線ビームを出射するX線源と、該X線源からのX線ビームを成形するビーム成形手段と、測定すべき試料を保持する治具と、測定すべき試料からのX線回折像と、該試料に入射したX線により発生する蛍光X線を同時に入射しうるように配置された直接撮像型X線CCDカメラと、該CCDカメラ内のCCDチップに不要な蛍光X線が入射することを防止する不要蛍光X線除去手段とを具備し、測定すべき試料の結晶構造データと構成元素データを同時に計測することを特徴とする計測システム。

IPC (2件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/223

FI (2件)：

G01N 23/20 ,  G01N 23/223

Fターム (25件)：

2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001BA19 ,  2G001BA22 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA03 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA03 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001LA03 ,  2G001MA04 ,  2G001MA05 ,  2G001NA09 ,  2G001NA10 ,  2G001NA17 ,  2G001NA21 ,  2G001SA02 ,  2G001SA10