特許
J-GLOBAL ID:200903009886965381
振動センサ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有近 紳志郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-323570
公開番号(公開出願番号):特開平5-157615
出願日: 1991年12月09日
公開日(公表日): 1993年06月25日
要約:
【要約】【目的】 高い周波数の振動を検出可能とする。【構成】 力平衡コイル4と、その力平衡コイル4との磁気相互作用により力平衡コイル4を浮遊させる永久磁石6,6と、力平衡コイル4側に設けた浮遊側電極5bとの間に静電容量を形成する固定側電極7と、振動による前記浮遊側電極5bと固定側電極7との間の静電容量の変化に応じて共振特性を変えるセラミック共振手段8と、そのセラミック共振手段8に基準周波数信号を入力するOSC9とを備える。磁性部材5aは、断面が楕円形状であり、その長軸が永久磁石6,6の対向方向に沿うような向きに磁力により維持される。【効果】 小型化,軽量化することが出来る。高い周波数の振動を検出できる。浮遊側電極が回転しにくく、測定精度を向上できる。
請求項(抜粋):
磁界を発生する磁界発生手段と、前記磁界との磁気相互作用により前記磁界に対して常に一定の方向を向いて浮遊する力平衡コイルと、その力平衡コイル側に設けた浮遊側電極と、その浮遊側電極との間に静電容量を形成する固定側電極と、振動による前記浮遊側電極と固定側電極との間の静電容量の変化に応じて共振特性を変えるセラミック共振手段と、そのセラミック共振手段に基準周波数信号を入力する基準発振手段とを具備し、前記振動を前記セラミック共振手段の出力の変化として検出することを特徴とする振動センサ装置。
IPC (2件):
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