特許
J-GLOBAL ID：200903009892960871
検査方法および装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-234532
公開番号（公開出願番号）：特開平6-085027
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 テープキャリヤ上に形成されたリードのインナーリード部に対して検査用端子を接触させることなく、リードの良否を検査する。【構成】 テープキャリヤ2に形成されたリード3の良否を検査する検査装置1の検査部5に、テープキャリヤ2のリード3のアウターリード部3bに熱エネルギを加える加熱手段6と、熱エネルギを加えたことによりリード3のインナーリード部3aから放射された赤外線を検出する赤外線検出装置8と、赤外線検出装置8によって検出された情報に基づいてリード3の良否を判定する演算装置10とを設置した。
請求項（抜粋）：
テープキャリヤの個々の配線パターン領域に形成された複数の配線パターンの良否を検査する際に、前記配線パターンの外側端に所定のエネルギを加えるとともに、それによって前記配線パターンの内側端から放射された所定の放射エネルギを検出する工程と、前記所定の放射エネルギの検出情報に基づいて配線パターンの良否を判定する工程とを有することを特徴とする検査方法。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, G01B 11/24
, G01J 1/02
, G01N 21/88
, H01L 21/60 321
