特許
J-GLOBAL ID：200903009896895241
セラミックスヒーター及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012667
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220862
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】セラミックス製の基材と、この基材の中に埋設された抵抗発熱体とを備え、抵抗発熱体が、抵抗線等からなる巻回体であるセラミックスヒーターにおいて、加熱面の温度が高度の均熱性を有するセラミックスヒーターを提供することであり、かつ、定常的に高い歩留りで量産できるようにすることである。【構成】基材内に埋設された巻回体の単位長さ当たりの巻き数を、X線等によって測定する。セラミックスヒーターの各領域ごとに前記巻回体の単位長さ当たりの巻き数が所定値に設定されている。巻回体の単位長さ当たりの巻き数を測定したとき、前記した各領域内において巻き数の最大値と最小値と平均値との間に、(最大値-最小値)/平均値≦0.1の関係が成立するようにすれば、セラミックスヒーターの加熱面の測定温度の最大値と最小値との差が、顕著に減少した。
請求項（抜粋）：
セラミックス製の基材と、この基材の中に埋設された抵抗発熱体とを備えたセラミックスヒーターであって、前記抵抗発熱体が巻回体であり、セラミックスヒーターの各領域ごとに前記巻回体の単位長さ当たりの巻き数が所定値に設定されており、巻回体の単位長さ当たりの巻き数を測定したとき、前記した各領域内において前記巻き数の最大値と最小値と平均値との間に、(最大値-最小値)/平均値≦0.1の関係が成立していることを特徴とする、セラミックスヒーター。
IPC (2件)：
H05B 3/20 356
, B21F 21/00
