特許

J-GLOBAL ID：200903009897770639

ステージ装置及び露光装置

発明者： 李 世文 ,  川上 直之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-124918
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335510
出願日： 2003年04月30日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】高精度の走査・位置決めを行うことのできるステージ装置を有し、軽量化された露光装置を提供する。【解決手段】本発明に係る露光装置101は、レチクルチャンバ111内において、雰囲気減圧時のメインボディ103の変形に伴う曲げ力は、レチクル定盤115下面側3箇所の脚部115aの球面軸受けで逃がすことができ、さらに調整機構115Xを作動させて調整することができる。同様に、ウェハチャンバ131内において、雰囲気減圧時のチャンバ131底部の変形に伴う曲げ力は、ウェハチャンバ131底部下のパン133の圧縮変形で抑制されるとともに、ウェハ定盤135下面側3箇所の脚部135aの球面軸受けで逃がすことができ、さらに調整機構135Xを作動させて調整することができる。そのため、雰囲気減圧に伴うステージ117、137の走査性の悪化等を回避できるので、露光精度の低下を抑制でき、高スループット化を実現できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

移動・位置決めされるステージと、 該ステージを案内するガイド機構と、 該ガイド機構を搭載するステージベースと、 を含み、減圧雰囲気下で用いられるステージ装置であって、 前記ステージベースとそれを支える支持構造体の間に、該ステージベースを3点支持する球面軸受けが配置されており、 雰囲気減圧時の前記支持構造体の変形に伴う曲げを前記球面軸受けで逃すことを特徴とするステージ装置。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01L21/68

FI (7件)：

H01L21/30 541L ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H ,  H01J37/20 D ,  H01J37/305 B ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A

Fターム (20件)：

5C001AA03 ,  5C001AA04 ,  5C001CC06 ,  5C034BB05 ,  5C034BB06 ,  5C034BB07 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA45 ,  5F031LA01 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F046CC17 ,  5F046GA07 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12 ,  5F056CB22 ,  5F056EA14